HEPA互锁传递箱

HEPA过滤传递箱与互锁气锁舱，在不破坏密封的前提下于不同洁净级别区域之间传递物料——静态与动态（主动净化/去污）两种形式，由美国、德国与中国的五家专业制造商（Franz Ziel、Terra Universal、Clean Rooms International、Airkey Envirotech、苏州汉森洁净科技）提供。