配备HEPA过滤的传递箱和联锁气闸室,可在不同洁净等级区域之间传递物料而不破坏密闭性,…
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传递舱与气锁 — 证据、注册路径、资金与供应商见技术页面。
HEPA过滤传递箱与互锁气锁舱,在不破坏密封的前提下于不同洁净级别区域之间传递物料——静态与动态(主动净化/去污)两种形式,由美国、德国与中国的五家专业制造商(Franz Ziel、Terra Universal、Clean Rooms International、Airkey Envirotech、苏州汉森洁净科技)提供。
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